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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "SiC".ekeyword (精準) and year="105"


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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃裕程 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(SiC)為一高崩潰電壓及低阻抗的材料,因此在高功率元件市場上有較大之需求,然而因單晶碳化矽晶圓之高硬度、高抗化學性等性質,使其在製造過程有加工時間繁長及成本高等問題。本研究主要針對單…
    • 點閱:304下載:7

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    添加 SiC 對鎂釔鋅合金之機械性質及腐蝕行為的影響
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 劉旭杰 指導教授: 丘群
    • 摘要 本研究在MgYZn合金(Mg97Y2Zn1)內分別添加5 wt%及10 wt%的碳化矽(SiC)粉末使用兩階段鑄造方法製備鎂基複合材料,探討其顯微結構、機械性質及腐蝕行為。 研究結果顯示MgY…
    • 點閱:289下載:1

    3

    過錳酸鉀溶液輔助複線式鑽石線鋸於單晶碳化矽晶圓加工影響之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 蕭祈暐 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在材料特性以及機械性質上相較於其他半導體材料,具有更明顯的優勢,如具有高崩潰電壓及低的阻抗,在高功耗應用端以及半導體市場中越來越受矚目,但也…
    • 點閱:342下載:18
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